一般的工業廢氣處理設備采用的工藝主要有活性炭/棉吸附、洗滌吸附、等離子、光催化氧化、冷凝回收、催化燃燒、熱力焚燒等。工業廢氣處理設備選型時，首先要考慮廢氣中的污染因子、排放濃度、廢氣排放量，然后考慮凈化效率。需要先從以上兩點出發，再進一步考慮別的問題。但是要了解具體采用哪種工藝的廢氣處理設備，還需要對廢氣的溫度、濕度、污染因子特性及非有機污染因素做進一步的分析。加工過程的安全性，經濟性，以及加工過程的穩定性。